熱式氣體質量流量計的系統及相關功能指標

為了降低熱式氣體質量流量計兩個鉑電阻之間的影響，傳感器的兩個探頭選用交織散布的方法，并且在兩個鉑電阻之間加上隔熱膠，削減由于探頭之間的對流換熱形成的影響。

能夠看到經過MEMS技能能將兩根鉑電阻絲集成在很小的硅片基體上。封裝后的熱式氣體質量流量計傳感器體積能夠做到很小，減小對原有流場的破壞，且具有非常好的熱傳導性。

新型熱式氣體質量流量計樣機，使丈量準確度由現在的10%進步到了1.5%， 達到了天然氣計量的準確度。 流量規模由現在的1∶40進步到了1∶100，使1臺流量計的丈量規模代替了原有3臺流量計的組合，進步了天然氣流量儀表的功能和功效。 技能方面，達到以下技能指標：

(1)熱式氣體質量流量計口徑：50mm。

(2)丈量準確度：1.5級。

(3)zui大流量：200m3/h。

(4)丈量規模：1∶100。

(5)呼應時刻：≤100ms。

(6)供電方法：(8~24)VDC。

(7)熱式氣體質量流量計輸出：RS485接口與計算機銜接，調整相關的參數，輸出用戶需求的瞬時流量、累積流量、實時溫度。